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烤膠機(jī)是一款緊湊且易于使用的光刻熱板

更新日期:2021-09-18       點(diǎn)擊次數(shù):1332
  烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為準(zhǔn)確控溫、真空吸附、高熱均勻性的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)精密控溫烤膠操作。此機(jī)采用智能程序化控溫技術(shù),控溫準(zhǔn)均勻,加熱快速高效,維修簡(jiǎn)單方便,控溫范圍在室溫-360℃之間,控溫精度達(dá)到0.1℃。適用于各種控溫精度高,加熱均勻性要求高的實(shí)驗(yàn)室。
  烤膠機(jī)。(英文名: Hot Plate)又名烘膠臺(tái),烤膠臺(tái),加熱平臺(tái),烤膠板,熱臺(tái),熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘,暴光后烘,顯影后的堅(jiān)膜,磨片粘片熔臘等。產(chǎn)品采用整體鑄造,加熱板作為加熱體,增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。采用單片機(jī)作為控制核心部件,有*精f準(zhǔn)的控溫精度,緊湊美觀。該設(shè)備對(duì)一些溫度敏感材料(如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等)進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作簡(jiǎn)便,安全可靠,是從事半導(dǎo)體熱處理.材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗(yàn)等不可少的工具。
  烘膠臺(tái)可以用于光刻工藝中的前烘、中烘和后烘。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)溫控溫,并具有兩段式自動(dòng)升溫、烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn),可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。
  烤膠機(jī)是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預(yù)烘烤,后烘烤和硬烘烤。該產(chǎn)品具有較高的烘烤速度,均勻性,較高的溫度控制精度和高度可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。烘烤控制設(shè)計(jì)用于預(yù)烘烤,后烘烤和硬烘烤,以進(jìn)行光蝕刻過(guò)程。
  熱板與旋涂機(jī)或旋涂機(jī)一起使用,是在硅片或其他基板上制造金屬氧化物薄膜、聚合物涂層和金屬有機(jī)薄膜的理想工具。與傳統(tǒng)烤箱相比,使用加熱板固化薄膜將減少烘烤時(shí)間,提高可重復(fù)性,并獲得更均勻和更好的薄膜質(zhì)量。這是因?yàn)樵谡麄€(gè)基材上具有均勻的溫度曲線,并為薄膜和涂層提供均勻的加熱。因?yàn)楸∧?涂層是從下往上加熱的,所以可以避免皮膚效應(yīng)。
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