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膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度

更新日期:2021-11-25       點(diǎn)擊次數(shù):1354
  勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。
  從其原理來說,可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié):
  旋轉(zhuǎn)速度
  轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速誤差很大,對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購(gòu)買轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
  真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
  真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?,如果真空吸附力降低,?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題,這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò),他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會(huì)開始旋轉(zhuǎn)。
  材質(zhì)的選擇
  對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國(guó)等型號(hào)都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
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